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統計分類	日本標準産業分類(平成25年[2013年]10月改定)
大分類	E 製造業
中分類	26 生産用機械器具製造業
小分類	267 半導体・フラットパネルディスプレイ製造装置製造業

統計基準・統計分類についてはこちら（総務省へリンク）をご参照ください。