詳細情報
| 統計分類 | 日本標準産業分類(平成25年[2013年]10月改定) |
|---|---|
| 大分類 | E 製造業 |
| 中分類 | 26 生産用機械器具製造業 |
| 小分類 | 267 半導体・フラットパネルディスプレイ製造装置製造業 |
| 細分類 | 2671 半導体製造装置製造業 |
| 細分類の説明 |
主として半導体（半導体集積回路，半導体素子）の製造に利用されるマスク・レチクル製造装置，ウェーハプロセス（電子回路形成）装置，半導体チップ組立装置などの各種製造装置を製造する事業所をいう。 主として設計用装置を製造する事業所は中分類30［3031］に，検査用装置（電気計測器）を製造する事業所は中分類29［2971］に，純水製造装置を製造する事業所は小分類265［2652］に分類される。 |
| 事例 |
ウェーハ加工（スライシング，研削，ラッピング）装置製造業；ウェーハ熱処理（酸化，拡散）装置製造業；ウェーハ露光装置製造業；ウェーハレジスト処理装置製造業；マスク・レチクル製造装置製造業；ウェーハ洗浄・乾燥装置製造業；ウェーハエッチング装置製造業；ウェーハイオン注入装置製造業；ウェーハ薄膜形成装置（ＣＶＤ，スパッタリング，エピタキシャル成長）製造業；ウェーハ真空蒸着装置製造業；ウェーハダイシング装置製造業；チップボンディング装置製造業；チップモールディング装置製造業； |
| 不適合事例 |
半導体設計用装置製造業［3031］；分析機器製造業［2735］；温度・湿度調整装置製造業［2535］；純水製造装置製造業［2652］；廃液処理装置製造業［2652］；ガス制御装置製造業（工業計器用）［2972］；ロボット製造業［2694］；制御機器製造業（工業計器用）［2972］；クリーンルーム装置製造業［2652］；検査・評価装置製造業（電気計測器用）［2971］ |