詳細情報
| 統計分類 | 日本標準産業分類(平成25年[2013年]10月改定) |
|---|---|
| 大分類 | E 製造業 |
| 中分類 | 26 生産用機械器具製造業 |
| 小分類 | 269 その他の生産用機械・同部分品製造業 |
| 細分類 | 2693 真空装置・真空機器製造業 |
| 細分類の説明 |
主として真空装置，真空ポンプ，真空装置用部品，真空装置附属装置等を製造する事業所をいう。 主として半導体製造装置を製造する事業所は小分類267［2671］に，フラットパネルディスプレイ製造装置を製造する事業所は小分類267［2672］に分類される。 |
| 事例 |
真空や金装置，真空化学装置，真空蒸着装置，スパッタリング装置，ドライエッチング装置，ＣＶＤ装置，イオン注入装置等真空装置製造業，真空ポンプ製造業；真空装置用部品製造業；真空装置用附属機器製造業 |
| 不適合事例 |
半導体製造装置製造業［2671］；分析機器製造業［2735］ |