調査票の調査項目一覧
| 政府統計コード | 00550200 |
|---|---|
| 調査実施機関 | 経済産業省 |
| 政府統計名 | 経済産業省生産動態統計調査 |
| 調査票ID | 08301 |
| 調査票 | 機械器具月報（その５７）（半導体製造装置及びフラットパネル・ディスプレイ製造装置） |
| 備考 | 平成17年1月～平成23年1月 |
調査項目
- 083010001 ウエハ製造用装置の生産量 33001 生産数量_1
- 083010002 ウエハ製造用装置の生産量 32980 生産重量
- 083010003 ウエハ製造用装置の商品生産収入額 30161 商品生産収入額_1
- 083010004 露光・描画用装置の生産量 33001 生産数量_1
- 083010005 露光・描画用装置の生産量 32980 生産重量
- 083010006 露光・描画用装置の商品生産収入額 30161 商品生産収入額_1
- 083010007 エッチング装置の生産量 33001 生産数量_1
- 083010008 エッチング装置の生産量 32980 生産重量
- 083010009 エッチング装置の商品生産収入額 30161 商品生産収入額_1
- 083010010 薄膜形成装置の生産量 33001 生産数量_1
- 083010011 薄膜形成装置の生産量 32980 生産重量
- 083010012 薄膜形成装置の商品生産収入額 30161 商品生産収入額_1
- 083010013 露光・描画用装置、エッチング装置及び薄膜形成装置を除くウエハプロセス用処理装置の生産量 33001 生産数量_1
- 083010014 露光・描画用装置、エッチング装置及び薄膜形成装置を除くウエハプロセス用処理装置の生産量 32980 生産重量
- 083010015 露光・描画用装置、エッチング装置及び薄膜形成装置を除くウエハプロセス用処理装置の商品生産収入額 30161 商品生産収入額_1
- 083010016 組立用装置の生産量 33001 生産数量_1
- 083010017 組立用装置の生産量 32980 生産重量
- 083010018 組立用装置の商品生産収入額 30161 商品生産収入額_1
- 083010019 半導体製造装置用関連装置の生産量 33001 生産数量_1
- 083010020 半導体製造装置用関連装置の生産量 32980 生産重量
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