調査票の調査項目一覧
| 政府統計コード | 00550200 |
|---|---|
| 調査実施機関 | 経済産業省 |
| 政府統計名 | 経済産業省生産動態統計調査 |
| 調査票ID | 08302 |
| 調査票 | 機械器具月報（その５７）（半導体製造装置及びフラットパネル・ディスプレイ製造装置）（平成23年～） |
| 備考 |
調査項目
- 083020001 ウエハ製造用装置の生産量 33001 生産数量_1
- 083020002 ウエハ製造用装置の生産量 32980 生産重量
- 083020003 ウエハ製造用装置の商品生産収入額 30161 商品生産収入額_1
- 083020004 露光・描画用装置の生産量 33001 生産数量_1
- 083020005 露光・描画用装置の生産量 32980 生産重量
- 083020006 露光・描画用装置の商品生産収入額 30161 商品生産収入額_1
- 083020007 エッチング装置の生産量 33001 生産数量_1
- 083020008 エッチング装置の生産量 32980 生産重量
- 083020009 エッチング装置の商品生産収入額 30161 商品生産収入額_1
- 083020010 薄膜形成装置の生産量 33001 生産数量_1
- 083020011 薄膜形成装置の生産量 32980 生産重量
- 083020012 薄膜形成装置の商品生産収入額 30161 商品生産収入額_1
- 083020013 露光・描画用装置、エッチング装置及び薄膜形成装置を除くウエハプロセス用処理装置の生産量 33001 生産数量_1
- 083020014 露光・描画用装置、エッチング装置及び薄膜形成装置を除くウエハプロセス用処理装置の生産量 32980 生産重量
- 083020015 露光・描画用装置、エッチング装置及び薄膜形成装置を除くウエハプロセス用処理装置の商品生産収入額 30161 商品生産収入額_1
- 083020016 組立用装置の生産量 33001 生産数量_1
- 083020017 組立用装置の生産量 32980 生産重量
- 083020018 組立用装置の商品生産収入額 30161 商品生産収入額_1
- 083020019 半導体製造装置用関連装置の生産量 33001 生産数量_1
- 083020020 半導体製造装置用関連装置の生産量 32980 生産重量
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